ส่วนที่ 1 การเก็บข้อมูลจากบุคลากรในหน่วยงานภาครัฐ (Internal Integrity and Transparency Assessment: IIT)
โดยเปิดโอกาสให้บุคลากรภาครัฐทุกระดับที่ปฏิบัติงานมาไม่น้อยกว่า 1 ปี ได้มีโอกาสสะท้อนและแสดงความคิดเห็นต่อคุณธรรมและความโปร่งใสของหน่วยงานตนเอง โดยสอบถามการรับรู้และความคิดเห็นใน 5 ตัวชี้วัด ได้แก่
ตัวชี้วัดที่ 1 การปฏิบัติหน้าที่
ตัวชี้วัดที่ 2 การใช้งบประมาณ
ตัวชี้วัดที่ 3 การใช้อำนาจ
ตัวชี้วัดที่ 4 การใช้ทรัพย์สินของราชการ
ตัวชี้วัดที่ 5 การแก้ไขปัญหาการทุจริต
ส่วนที่ 2 การเก็บข้อมูลจากผู้รับบริการหรือผู้ติดต่อหน่วยงานภาครัฐ (External Integrity and Transparency Assessment: EIT)
โดยเปิดโอกาสให้ผู้รับบริการหรือผู้ติดต่อหน่วยงานภาครัฐในช่วงปีงบประมาณ พ.ศ. 2564 ได้มีโอกาสสะท้อนและแสดงความคิดเห็นต่อการดำเนินงานของหน่วยงานภาครัฐ โดยสอบถามการรับรู้และความคิดเห็นใน 3 ตัวชี้วัด ได้แก่
ตัวชี้วัดที่ 6 คุณภาพการดำเนินงาน
ตัวชี้วัดที่ 7 ประสิทธิภาพการสื่อสาร
ตัวชี้วัดที่ 8 การปรับปรุงระบบการทำงาน
ส่วนที่ 3 การเปิดเผยข้อมูลทางเว็บไซต์ของหน่วยงาน (Open Data Integrity and Transparency Assessment: OIT)
เป็นการตรวจสอบระดับการเปิดเผยข้อมูลของหน่วยงานภาครัฐที่เผยแพร่ไว้ทางหน้าเว็บไซต์หลักของหน่วยงาน โดยมีคณะที่ปรึกษาการประเมิน ITA ในฐานะผู้เชี่ยวชาญและคนกลาง (third party) เป็นผู้ตรวจสอบข้อมูลและให้คะแนนพร้อมข้อเสนอแนะตามหลักเกณฑ์การประเมินที่กำหนด แบ่งออกเป็น 2 ตัวชี้วัด ได้แก่
ตัวชี้วัดที่ 9 การเปิดเผยข้อมูล
9.1 ข้อมูลพื้นฐาน
9.2 การบริหารงาน
9.3 การบริหารเงินงบประมาณ
9.4 การบริหารและพัฒนาทรัพยากรบุคคล
9.5 การส่งเสริมความโปร่งใส
ตัวชี้วัดที่ 10 การป้องกันการทุจริต
10.1 การดำเนินการเพื่อป้องกันการทุจริต
10.2 มาตรการภายในเพื่อป้องกันการทุจริต